1200C trīs apkures zonu PECVD sistēma
1200C trīs apkures zonu PECVD sistēma

1200C trīs apkures zonu PECVD sistēma

SK2-CVD-12TPB4 ir cauruļu krāsns PECVD sistēmai, kas sastāv no 300 W vai 500 W RF barošanas avota, daudzkanālu precīzas plūsmas sistēmas, vakuuma sistēmas un cauruļu krāsns. Parasti izmantotā temperatūra ir 1100 grādi pēc Celsija vai zemāka, un tās galvenie raksturlielumi ir zema nogulsnēšanās temperatūra, ātrs ātrums, laba plēves kvalitāte, mazāk caurumu un mazāka iespēja plaisāt. Ideāla ierīce nanovadu audzēšanai vai dažādu plānu kārtiņu sagatavošanai ar CVD metodi.
Nosūtīt pieprasījumu
Funkcija

 

● Maksimālā temperatūra RT-1200 grādi

● Split tipa krāsns, jūs varat atvērt krāsni.

● Var ievadīt vairāk nekā 2 gāzes kanālus ar vakuuma pakāpi 10 Pa, izmantojot mehānisku sūkni un 500 W RF barošanas avotu, lai uzlabotu signālu.

● Augstas kvalitātes alumīnija oksīda keramikas šķiedras izolācijas materiāli

● Temperatūras kontroles precizitāte ±1 grāds

● Ar pārkaršanas trauksmes funkciju

● Dzesēšanas ventilators var samazināt korpusa temperatūru

 

Modelis

SK2-CVD-12TPB4

Izmēri: Standarta Apkures zonas garums (mm)

440 mm

Izmēri: standarta caurules diametrs (mm)

∮60 mm

Max.temperatūra

1200 grādi, nepārtraukta darba temperatūra 1100 grādi.

Spriegums (V)

220 1P

Termopāra tips

K

Sildelements

HRE sakausējuma pretestības stieple

Temp.Precizitāte

±1 grāds

Apkures ātrums

0-30 grādi/min brīva korekcija

Kameras materiāls

Izmantojot progresīvu augstas kvalitātes alumīnija oksīda mikrokristālisko šķiedru materiālu

Krāsns struktūra

Divslāņu gaisa dzesēšanas struktūra, virsmas temperatūra ir mazāka par 60 grādiem

Temperatūras regulators

Inteliģents PID temperatūras kontroles instruments, 30 programmas segmenti, SSR kontrole, PID parametru pašregulācijas funkcija; programma temperatūras paaugstināšana, programma siltuma saglabāšana, programma dzesēšana

500W RF barošanas avots

Izejas jauda: 5-500W ±1 grāds

RF frekvence: 13,56 MHz ±0,005%

Atspoguļotā jauda: līdz 100W

Atbilstība: automātiska

RF interfeiss: 50Ω, N-tipa

Dzesēšana: gaisa dzesēšana

Barošanas avots: maiņstrāva 208-240V, 50/60 HZ

4 gāzes kanālu precīzas plūsmas sistēma

1. Pilna mēroga plūsmas ātrums (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500) ML/min. 10L/min.

2. Vārsta tips: Solenold vārsts.

3. Vārsta atpūtas stāvoklis: parasti aizvērts.

4. Diferenciālais spiediens: (50-300) kpa

5. Spiediena pretestība: 3mpa.

6. Darbības temperatūra: 5-45 grādi

7. Materiāli: nerūsējošais tērauds 316L.

Vakuuma sistēma

5*10-3Pa

KF25 ātrais savienojums, nerūsējošā tērauda plēšas, manuāls atloka vārsts un atloks, vakuumsūknis

Pēc izvēles var aprīkot arī augstākas vakuuma sistēmas.

image001

LAIPNI LŪDZAM OEM/ODM

 

Standarta piederumi

 

Termiskie cimdi|Tīģeļa āķis|Termopāris|Caurules bloks|Lietotāja rokasgrāmata |Rīki|Vakuumsūknis| Kvarca caurule |Atloks |Blīvgredzens |10mm gāzes šļūtene |Atloka balsts, Gāzes sistēma, RF jauda.

 

Neobligāti

 

Dažāda apkures zona pēc jūsu izvēles;

LCD skārienekrāna vadība izvēlei

RS485/USB ports datora pievienošanai izvēlei.

 

CVD-PECVD detalizēts attēls

 

image003
500W RF barošanas avots
image005
Vakuuma sistēma
image007
4 gāzes kanālu precīzas plūsmas sistēma

 

Pieteikums

 

Šo ierīci galvenokārt izmanto nanovadu audzēšanai vai dažādu plānu kārtiņu audzēšanai ar CVD metodi.

 

Garantija

 

Viena gada garantija un mūža tehniskais atbalsts

Īpaši padomi:

1. Uz tādiem palīgmateriāliem kā sildelements, kvarca caurule, paraugu tīģelis utt. neattiecas garantijas periods.

2. Garantija neattiecas uz bojājumiem, kas radušies kodīgas gāzes un skābās gāzes lietošanas rezultātā.

 

Populāri tagi: 1200c trīs apkures zonu pecvd sistēma, Ķīna 1200c trīs apkures zonu pecvd sistēmu ražotāji, piegādātāji